氦質譜檢漏儀是一種高靈敏度的檢測漏氣的儀器，氦質譜檢漏儀的工作原理是利用氦氣分子在真空中擴散的特性，通過將氦氣注入被檢測物體內部或周圍環境中，然后使用氦質譜儀檢測周圍環境中是否存在氦氣。因為氦氣分子非常小，能夠穿過非常小的漏洞或裂縫，因此氦質譜檢漏儀能夠檢測到非常小的漏洞或裂縫。同時，氦氣是一種非常穩定的氣體，不會與其他物質發生反應，不會對被檢測物體產生影響。